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派克技術白皮書:小部件的大學問

2019/7/29 8:52:16??????點擊:

從智能手機到產業機器人,再到超級計算機,隨著應用范圍不斷增加,半導體行業在蓬勃發展的同時,其制程工藝也不斷快速提升。然而,無論工藝如何改進,都離不開鹽酸、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液,以及乙醇,丙酮等各類高純度化學品的使用。

這些高純度化學品具有強酸、強腐蝕性等特性,在其輸送系統原材料的選擇上,必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進入人們的視野,它們具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑、耐腐蝕等特點,被視為半導體制程中化學品輸送系統的理想材料。

例如,在半導體的CMP工藝中,Slurry輸送系統的部件就可選用PFA材質。CMP又稱化學機械拋光,它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度,其中,Slurry供應系統與之關系密切。作為一種特殊的化學研磨液,Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液,其供應系統將持續為CMP提供制程所需的化學研磨液,一旦系統出現異常,會對CMP制程造成嚴重損失。

因此,Slurry輸送系統對閥門的選用要求嚴格。比市場上同類產品相比,派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥,能更好地符合用戶需求。

PARTEK 22_1

雙密封點
Slurry有易結晶的特性,一旦在閥座密封處形成結晶,就會影響閥門的關閉功能,造成泄漏故障。因此,22系列膜閥采用膜片密封形狀設計,形成雙密封點,能有效控制這類故障。在閥門關閉時的應力測試圖中,可以觀察到雙密封點,如果其中一處密封點失效,另一處密封點還將繼續工作,從而提高閥門的工作壽命。第三方的測試數據也很好地證明了這一點:在輸送鹽酸和硫酸時,工作壽命超過210萬次;輸送純水時,超過300萬次;輸送Slurry時,雙密封點的效果明顯,在系統無故障的條件下,工作壽命超過210萬次。

滑梯狀流道
目前市場上應用于Slurry閥門多數采用內部無死角的自排放結構,使閥門在不使用時能夠排空。22系列膜閥采用滑梯狀流道設計,一定程度上減少了流體在閥門內部的停留時間,同時減小流體對閥體不同部位的應力差,從而有效延長閥體的壽命。

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派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設計巧妙,質量卓越,能夠符合半導體制程中化學品、尤其是Slurry輸送的不同要求,更少的故障以及更長的產品壽命將為客戶帶來更多的價值。

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